1月7日電 以中國工程院院士王玉明為主任的專家鑒定委員會今天下午在杭州富陽宣布：我國磁軸承技術(shù)研發(fā)獲得重大突破，第一個國產(chǎn)磁軸承產(chǎn)品———“基于交叉反饋控制的FS450型分子泵磁軸承”，在浙江飛旋科技有限公司研發(fā)成功，從而在分子泵應(yīng)用領(lǐng)域打破了國外的技術(shù)壟斷，使我國成為繼法國、美國、加拿大、德國等少數(shù)發(fā)達國家之后擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁軸承技術(shù)產(chǎn)品的國家。
磁軸承又稱主動磁懸浮軸承，是一種轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機械接觸的新型高性能軸承。它由機械部件、電控系統(tǒng)、傳感器和輔助軸承等構(gòu)成。利用電磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空間，具有無機械磨損、能耗低、允許轉(zhuǎn)速高、噪聲少、壽命長、無潤滑介質(zhì)等優(yōu)點。選擇磁軸承作為分子泵轉(zhuǎn)子的支承，可以從根本上解決傳統(tǒng)軸承潤滑帶來的潤滑油脂的油蒸汽返流對真空室的污染等問題，使磁軸承真空分子泵成為集成電路制造設(shè)備首選的超高真空獲得設(shè)備。磁軸承是繼油潤滑、氣潤滑之后軸承行業(yè)又一次革命性變化，為傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)增加了高科技產(chǎn)品。這種精密的機電一體化產(chǎn)品，除了在真空分子泵中應(yīng)用外，還在軍工、航天航空、石油石化、能源等領(lǐng)域有著廣闊的前景。
由浙江飛旋科技有限公司總經(jīng)理洪申平為項目負責(zé)人的研發(fā)團隊，在國內(nèi)率先研發(fā)成功了適用于集成電路裝備應(yīng)用的分子泵磁軸承。他們在國內(nèi)首次將一種5自由度控制的磁懸浮軸承用于分子泵，并采用交叉反饋的控制技術(shù)，解決了撓性轉(zhuǎn)子在高轉(zhuǎn)速下的陀螺效應(yīng)問題，提高了轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性；采用了本機動平衡技術(shù)，有效地降低了轉(zhuǎn)子的振動。
